Создание микроэлектромеханических устройств
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) – это миниатюрные интегрированные устройства, сочетающие в себе механические и электрические компоненты. Их размер обычно варьируется от одного до нескольких сотен микрометров. Эти устройства совершили революцию во многих областях, включая автомобильную промышленность, медицину, электронику и аэрокосмическую промышленность, предоставляя решения, характеризующиеся меньшим размером, меньшим весом, сниженным энергопотреблением и повышенной производительностью. Принципы работы и … Читать далее